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TW-GS6022电加热水洗式尾气处理设备
电加热水洗式尾气处理设备
通过电能加热，对进入的制程废气在反应腔室内进行高温分解，反应生成H2O、CO2等无害物质，再由水洗系统对其处理，水气分离器将水汽和气体分离，溶于水的物质作为废水排出，再由Chiller进行冷处理，达到水气分离，最后，处理达标的气体定向排放至厂务中央系统。所处理的尾气，包含了大部分半导体、TFT、SOLAR 工厂所使用的特种气体。
| 目录 | 明细 |
| 腔体接口 | 12 Ports |
| 处理容量 | 2200LPM |
| 操作方式 | Automatic (PLC) |
| 设备尺寸 (W×D×H ) | 1473X1250X1972.9（mm) |
电源供应 | 50HZ 208V 50A 3phase 3wire+PE |
其他特点 | 完善的安全报警系统、自动BY PASS阀、双层反应腔室结构 |
| TW-GS6 配置需求 | ||||||||
| 设备各连接口配置 | 厂务二次配要求 | |||||||
| 项次 | 名称 | 材质 | 尺寸规格 | 数量 | 接口方式 | 需求 | 材质 | 备注 |
| 1 | 酸排接口 | SUS | IS0200 | 1 | C型夹连接 | -80 ～ -120mmH2O | 耐腐 | 1.连接处上方需配有压力表、调节手阀 2.厂务酸排管需做分段（2m/段）连接，方便后期维护 3.固定C型夹不得少于6个，酸排管必须耐腐 |
| 2 | 一般排气接口 | SUS | φ100 | 1 | 抱箍固定 | -10 ～ -20mmH2O | SUS | 连接处上方需加装手阀 |
| 3 | 冷却水进水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm² | SUS | 需加装过滤装置，防止水质差造成设备内部管路堵塞。 |
| 4 | 冷却水回水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm² | SUS | 必须配有流量计、压力计 |
| 5 | 排水接口 | PVC | 1寸 ANSI(25A) | 1 | 1寸内丝由令 | Acid Drain | PVC | 需加装手阀、逆止阀 |
| 6 | 电源接口 | Cu | 16mm²*4C | 1 | 端子螺丝固定 | 16mm²*4C AC 208V 50A 3phase 3wire+PE 50/60HZ | 铜芯软线 | 厂务至设备之间的电源线不得有接头， 接头处，易损风险极大，损坏后会造成不必要的case。 |
| 7 | 自来水进水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 3-8 kgf/cm² 5-10LPM | SUS | 需加装过滤装置，防止水质差造成设备内部自来水管路、喷头堵塞。 |
| 8 | 远程接口（预留） | SUS+PVC | RS232 公头 | 1 | RS232插头连接 | RS232 母头 | 信号线 | 如有需求，连线由高笙提供。 |
| 9 | 氮气接入口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-5 kgf/cm² 30-60LPM | SUS | 需加装调压阀 |
| 10 | CDA接入口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm² 80-100LPM | SUS | 需加装调压阀 |
| 11 | AUTO BY-PASS 信号输出（预留） | SUS+PVC | 航空插头 3孔公头 | 12 | 航空插头连 | 航空插头 3孔 母头 | 0.5mm²*3芯 信号线 | 如加装自动BY-PASS，连线由高笙提供。 |
| 12 | 废气进气接口 | SUS | KF-50 | 12 | KF-50 clamp连接 | -80 ～ -120mmH2O | SUS | Dry-Pump 尾端需加装手阀 |
| 联锁功能表 | |||||||||
| 编号 | 安全组件名 | 所在位置 | 断开部件和功能 | 信号灯状态 | 蜂鸣器状态 | 显示屏是否报警 | 是否人工复位 | 动作方式 | 互锁实现回路 |
| 1 | 紧急停止 | 机台正视操作 面板中间 | 断开所有电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 2 | 烟雾侦测器 | 电控箱上端、 机箱内上端 | 断开所有电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 3 | 漏液侦测器 | 设备水箱前端、顶端 | 断开自来水、冷却 水、循环水和排水 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 4 | 机箱排气侦测器 | 机台顶端一般排气 | 断开加热器控制开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 5 | 水槽高液位传感器 | 设备水箱右侧、顶端 | 断开自来水、冷却水 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 6 | 过温、过热安全 保护装置 | 主腔体外壁、涡旋腔体外壁、冷却腔体外壁 | 断开加热器控制开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
1.维护成本低、运行稳定，故障率低
2. 节能模式
3. 手动/自动两种运行模式，Auto BY-PASS
4.90度翻转设计，便于PM清洁腔室
5.完善的安全报警系统
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