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尾气处理设备
吸附式尾气处理设备
不使用水等液体作为处理介质，制程设备排出的废气进入尾气处理设备反应腔体，经过化学反应、常温或加热吸附后，无害气体被抽到排气系统。通过向不同的固体等载体中添加中和剂、氧化剂用以吸收、氧化有毒气体，进行有害气体的处理；或者通过过滤材料进行分离以除去气体或反应生成物， 或者上述几种的组合方式；废气被这些固态媒介吸附、捕捉并反应后形成固态片状物， 而这些固态媒介处于介质床之中， 失效后需及时更换吸附桶，对使用后的吸附剂废弃物要进行妥善的处理。
