咨询热线：
021-58072672021-68072312
产品中心
半导体高端制造源于专业的设计与优秀的品质
D-GS20吸附式尾气处理设备
吸附式尾气处理设备
工作原理
不使用水等液体作为处理介质，制程设备排出的废气进入尾气处理设备反应腔体，经过化学反应、常温或加热吸附后，无害气体被抽到排气系统。通过向不同的固体等载体中添加中和剂、氧化剂用以吸收、氧化有毒气体，进行有害气体的处理。或者通过过滤材料进行分离以除去气体或反应生成物， 或者上述几种的组合方式；废气被这些固态媒介吸附、捕捉并反应后形成固态片状物， 而这些固态媒介处于介质床之中， 失效后需及时更换吸附桶。对使用后的吸附剂废弃物要进行妥善的处理。
产品简介
| 目录 | 明细 |
| 腔体接口 | 4 Ports |
| 处理容量 | 200LPM |
| 设备尺寸 (W×D×H ) | 1000X1180X1850（mm) |
电源供应 | 208VAC /3phase 3wire+PE 50/60HZ |
其他特点 | AUTO By Pass 负压处理、被动吸附、鼓风机动力辅助排放 |
配置需求
| D-GS20 配置需求 | ||||||||
| 设备各连接口配置 | 厂务二次配要求 | |||||||
| 项次 | 名称 | 材质 | 尺寸规格 | 数量 | 接口方式 | 需求 | 材质 | 备注 |
| 1 | 酸排接口 | SUS | IS0-100 | 1 | C型夹连接 | -60 ～ -120mmH2O | 耐腐 | 1.连接处上方需配有压力表、调节手阀。 2.厂务酸排管需做分段（2m/段）连接，方便后期维护。 |
| 2 | 一般排气接口 | SUS | φ102 | 1 | 抱箍固定 | -30 ～ -40mmH2O | SUS | 连接处上方需加装手阀 |
| 3 | 废气进气接口 | SUS | KF-50 | 4 | KF-50 clamp连接 | -60 ～ -120mmH2O | SUS | |
| 4 | 氮气接入口 | SUS | 3/8”SWAGELOK | 1 | 3/8” SWAGELOK 卡套 | 4-6 kgf/cm² | SUS | 需加装调压阀 |
| 5 | 电源接口 | Cu | 2.5mm²*4C | 1 | 端子螺丝固定 | 2.5mm²*4C 50/60HZ AC 208V 10A 3phase 3wire+PE | 铜芯软线 | 厂务至设备之间的电源线不得有接头 |
安全联锁位置及功能
联锁功能表
| 联锁功能表 | |||||||||
| 编号 | 安全组件名 | 所在位置 | 断开部件和功能 | 信号灯状态 | 蜂鸣器状态 | 显示屏是否报警 | 是否人工复位 | 动作方式 | 互锁实现回路 |
| 1 | 紧急停止 | 机台正视操作面板中间 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 2 | 烟雾侦测器 | 电控箱上端、 机箱内上端 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 3 | 机箱排气侦测器 | 机台顶端一般排气口 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 4 | 排气浓度侦测器 | 设备电控箱 | 启动内部BY-PASS | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
产品特点
- 上一篇：HT-GS3600氢气专用尾气处理设备
- 下一篇：D-GS16吸附式尾气处理设备
