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HT-GS3600氢气专用尾气处理设备
氢气专用尾气处理设备
废气处理设备系将制程设备所排出的废气经高温分解、水洗反 应处理后，再将此废气送至厂务中央湿式洗涤系统。加热器均 匀分布安装在主腔体位置，通过电能加热，对进入的制程废气 在高温应室内进行反应，反应生成H2O，再由冷却系统降温、 冷凝形成液态水，再次降温，最后定向排放至厂务中央系统。
| 目录 | 明细 |
| 废气进气接口 | 2 Ports |
| 处理容量 | 综合处理：3600LPM；单氢气处理：400LPM |
| 设备尺寸 (W×D×H ) | 1000X1000X1970（mm) |
电源供应 | 208VAC /3phase 3wire+PE 50/60HZ |
其他特点 | 处理氢气流量更大，单氢气可以达到400/L 纯电热高温处理方式，温度到达800度 |
| HT-GS3600 配置需求 | ||||||||
| 设备各连接口配置 | 厂务二次配要求 | |||||||
| 项次 | 名称 | 材质 | 尺寸规格 | 数量 | 接口方式 | 需求 | 材质 | 备注 |
| 1 | 酸碱排气接口 | SUS | IS0-160 | 1 | C型夹连接 | <-500pa | SUS | 1.连接处上方需配压力表、手阀2.厂务酸排管需做分段(2m/段)连接，方便后期维护。 |
| 2 | 一般排气接口 | SUS | φ102 | 1 | 抱箍固定 | <-300pa | SUS | 连接处上方需加装手阀 |
| 3 | 冷却水进水接口 | SUS | 1” SWAGELOK | 1 | 卡套接头 | 3-6 kgf/cm² | SUS | |
| 4 | 冷却水出水接口 | SUS | 1” SWAGELOK | 1 | 卡套接头 | 3-6 kgf/cm² | SUS | |
| 5 | 排水接口 | SUS | 1/2” ANSI | 1 | 卡套接头 | Acid Drain | SUS | |
| 6 | 电源线进口 | Cu | 16² * 4C（3相+1地） | 1 | 端子螺丝固定 | AC 208-220V 3P 50/60Hz 75A | 铜芯软线 | 厂务至设备之间的电源线不得有接头 |
| 7 | 远程安全互锁接线盒 | RS232 | RS232母头 | |||||
| 8 | 氮气进气接口 | SUS | 3/8” SWAGELOK | 1 | 卡套接头 | 2-4 kgf/cm² | SUS | 需加装调压阀 |
| 9 | 压缩空气进气接口 | SUS | 3/8” SWAGELOK | 1 | 卡套接头 | 5-8 kgf/cm² | SUS | 需加装调压阀 |
| 10 | 废气进气接口 | SUS | KF-40 | 1 | KF-40 CLAMP连接 | <-500pa | SUS | 连接处上方需加装手阀 |
| 11 | 酸碱强排接口（带鼓风机选配） | SUS | IS0-100 | 1 | C型夹连接 | <-500pa | SUS | 1.连接处上方需配压力表、手阀2.厂务酸排管需做分段(2m/段)连接，方便后期维护。 |
| 联锁功能表 | |||||||||
| 编号 | 安全组件名 | 所在位置 | 断开部件和功能 | 信号灯状态 | 蜂鸣器状态 | 显示屏是否报警 | 是否人工复位 | 动作方式 | 互锁实现回路 |
| 1 | 紧急停止 | 机台正视操作面板中间 | 断开所有电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 2 | 烟雾侦测器 | 电控箱上端、 机箱内上端 | 断开所有电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 3 | 机箱排气侦测器 | 机台顶端一般排气口 | 三通阀打开 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 4 | 超温安全保护装置 | 加热器外壁 | 断开加热控制器开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 5 | 漏液侦测器 | 设备水箱前端 | 断开冷却水 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
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