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半导体高端制造源于专业的设计与优秀的品质
尾气处理设备
处理氢气流量更大,单氢气可达360L,混合特气处理量达450L
腔体全包加热器设计,受热均匀
纯电热高温处理方式,温度可到达800度
单进口模式,预留Bypass进气口
无需自来水,少量废水排出,节约能源
降低维护成本
氢气专用尾气处理设备