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尾气处理设备
等离子水洗式尾气处理设备
制程气体通过进气口进入主腔体混合，等离子炬装置位于主腔体中间位置，通过等离子体发生装置，形成高温、射流状的等离子电弧（弧长：25CM），对进入的制程废气在反应室内进行电离、轰击、高温分解，使其废气分子转化成各活性粒子，反应生成H2O、CO2等无害物质，再由水洗系统对其进行冲刷、喷淋、降温、水溶水解等处理，溶于水的物质作为废水排出，处理达标的气体定向排放至厂务中央系统。
