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PW-GS3000D等离子水洗式尾气处理设备
等离子水洗式尾气处理设备
本设备双腔独立处理系统设计（可相互by-pass）,制程气体通过进气口进入主腔体混合,等离子炬装置位于主腔体中间位置，通过等离子体发生装置形成高温、射流状的等离子电弧（弧长： 25CM），对进入的制程废气在反应室内进行电离、轰击、高温分解，使其废气分子转化成各种活性粒子，反应生成H2O、CO2等无害物质，再由水洗系统对其进行冲刷、喷淋、降温、水溶水解等处理，溶于水的物质作为废水排出，处理达标的气体定向排放至厂务中央系统。
| 目录 | 明细 |
| 腔体接口 | 12 Ports(含By-pass接口) |
| 处理容量 | 1000LPM *2 |
| 最大电机/负载的额定电流 | 6A*2 |
| 额定频率 | 50Hz |
| 设备尺寸 (W×D×H ) | 1900X1000X1900（mm) |
| 操作方式 | Automatic (PLC) |
电池供应 | 208VAC /3phase 3wire+PE 50/60HZ |
| PW-GS3000D 配置需求 | ||||||||
| 设备各连接口配置 | 厂务二次配要求 | |||||||
| 项次 | 名称 | 材质 | 尺寸规格 | 数量 | 接口方式 | 需求 | 材质 | 备注 |
| 1 | 酸排接口 | SUS | IS0-160 | 2 | C型夹连接 | 600LPM -80 ～ -120mmH2O | 耐腐 | 1.连接处上方需配有压力表、调节手阀 2.厂务酸排管需做分段（2m/段）连接，方便后期维护 |
| 2 | 一般排气接口 | SUS | φ102 | 2 | 抱箍固定 | 500LPM -10 ～ -20mmH2O | SUS | 连接处上方需加装手阀 |
| 3 | 废气进气接口 | SUS | KF-40 | 12 | KF-40 clamp连接 | -80 ～ -120mmH2O | SUS | |
| 4 | 氮气接入口 | SUS | 3/8”SWAGELOK | 2 | 3/8”SWAGELOK 卡套 | 2-4 kgf/cm² 50-60LPM | SUS | 需加装调压阀 |
| 5 | 冷却水回水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2"SWAGELOK 卡套 | 40-70LPM 3-6 kgf/cm² | SUS | 必须配有流量计、压力计 |
| 6 | 冷却水进水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2"SWAGELOK 卡套 | 40-70LPM 3-6 kgf/cm² | SUS | 水质干净，7-10℃ |
| 7 | 自来水进水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK 卡 | 5-8LPM 3-8 kgf/cm² | SUS | 浑浊度：不超过5度 PH值：6.5-8.5 |
| 8 | 排水接口 | PVC | 3/4" ANSI | 1 | 3/4"由令 | 40LPM Acid Drain | PVC | 需加装手阀、逆止阀 |
| 9 | 远程接口（预留） | SUS+PVC | RS232 公头 | 1 | RS232插头连接 | RS232 母头 | 信号线 | 如有需求，连线由高笙提供。 |
| 10 | CDA接入口 | SUS | 3/8" SWAGELOK | 2 | 3/8”SWAGELOK 卡套 | 60-80LPM 5-8 kgf/cm² | SUS | 需加装调压阀 |
| 11 | 电源接口 | Cu | 25mm²*4C | 2 | 端子螺丝固定 | 25mm²*4C 50/60HZ AC 208V 100A 3phase 3wire+PE 最大运行电流：60A | 铜芯软线 | 厂务至设备之间的电源线不得有接头 |
| 联锁功能表 | |||||||||
| 编号 | 安全组件名 | 所在位置 | 断开部件和功能 | 信号灯状态 | 蜂鸣器状态 | 显示屏是否报警 | 是否人工复位 | 动作方式 | 互锁实现回路 |
| 1 | 紧急停止 | 机台正视操作 面板中间 | 断开所有电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 2 | 烟雾侦测器 | 电控箱上端、 机箱内上端 | 断开所有电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 3 | 机箱排气侦测器 | 机台顶端一般排气口 | 断开等离子炬 控制开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 4 | 漏液侦测器 | 设备水箱前端、顶端 | 断开自来水、冷却水、循环水和等离子炬控制开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 5 | 过温、过热安全 保护装置 | 主腔体外壁、涡旋腔体外壁 | 断开等离子炬 控制开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
1.高效的PFCs气体处理效率
2. 自主开发的Torch Power Supply，安全可靠，降低功耗
3. 内部相互切换的功能降低 By-pass Pipe Utility 费用
4.Self Cleaning 设计，提高水溶性气体的处理效率
5.防腐涂层技术，延长 Parts 使用寿命，降低维护成本
6.通过二合一实现设备占地空间缩小40%
7.节能模式，等离子火炬与废气实现同步运行
