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PW-GS8018等离子水洗式尾气处理设备
等离子水洗式尾气处理设备
制程气体通过进气口进入主腔体混合（进气口：8port）；等离子炬装置位于主腔体中间位置，通过等离子体发生装置形成高温、射流状的等离子电弧（弧长： 25CM），对进入的制程废气在反应室内进行电离、轰击、高温分解，使其废气分子转化成各种活性粒子，反应生成H2O、CO2等无害物质，再由水洗系统对其进行冲刷、喷淋、降温、水溶水解等处理，溶于水的物质作为废水排出，处理达标的气体定向排放至厂务中央系统。
| 目录 | 明细 |
| 腔体接口 | 8 Ports |
| 处理容量 | 1800LPM |
| 设备尺寸 (W×D×H ) | 1400X1250X1973（mm) |
电池供应 | 208VAC /3PHASE 3WIRE+PE 50/60HZ |
| PW-GS8018 配置需求 | ||||||||
| 设备各连接口配置 | 厂务二次配要求 | |||||||
| 项次 | 名称 | 材质 | 尺寸规格 | 数量 | 接口方式 | 需求 | 材质 | 备注 |
| 1 | 酸排接口 | SUS | IS0160 | 1 | C型夹连接 | -80 ～ -120mmH2O | 耐腐 | 1.连接处上方需配有压力表、调节手阀 2.厂务酸排管需做分段（2m/段）连接，方便后期维护 3.固定C型夹不得少于6个，酸排管必须耐腐 |
| 2 | 一般排气接口 | SUS | φ100 | 1 | 抱箍固定 | -10 ～ -20mmH2O | SUS | 连接处上方需加装手阀 |
| 3 | 废气进气接口 | SUS | KF-50 | 8 | KF-50 clamp连接 | -80 ～ -120mmH2O | SUS | DRY-Pump 尾端需加装手阀 |
| 4 | 氮气接入口 | SUS | 1/2”SWAGELOK | 1 | 1/2”SWAGELOK 卡套来接 | 4-5 kgf/cm² 30-60LPM | SUS | 需加装调压阀 |
| 5 | 冷却水回水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK 卡套来接 | 4-6 kgf/cm² | SUS | 必须配有流量计、压力计 |
| 6 | 冷却水进水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK 卡套 来接 | 40-70LPM 3-6 kgf/cm² | SUS | 水质干净，7-10℃ |
| 7 | 自来水进水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK 卡套 来接 | 5-10LPM 3-8 kgf/cm² | SUS | 需加装过滤装置，防止水质差造成设备内部自来水管路、喷头堵塞。 |
| 8 | 排水接口 | PVC | 3/4" ANSI | 1 | 3/4"由令 | 40LPM Acid Drain | PVC | 需加装手阀、逆止阀 |
| 9 | 远程接口（预留） | SUS+PVC | RS232 公头 | 1 | RS232插头连接 | RS232 母头 | 信号线 | 如有需求，连线由高笙提供。 |
| 10 | CDA接入口 | SUS | 3/4" SWAGELOK | 1 | 3/4”SWAGELOK 卡套 来接 | 4-6 kgf/cm² 80-100LPM | SUS | 需加装调压阀 |
| 11 | Auto By-PASS信号 输出（预留） | SUS+PVC | 航空插头 3孔 公头 | 8 | 航空插头连接 | 航空插头 3孔 母头 | 0.5mm2*3芯 信号线 | 如加装自动BY-PASS，连线由高笙提供。 |
| 12 | 电源接口 | Cu | 16mm²*4C | 1 | 端子螺丝固定 | 16mm²*4C 50/60HZ AC 208V 50A 3phase 3wire+PE | 铜芯软线 | 厂务至设备之间的电源线不得有接头，接头处，易损风险极大，损坏后会造成不必要的case。 |
| 联锁功能表 | |||||||||
| 编号 | 安全组件名 | 所在位置 | 断开部件和功能 | 信号灯状态 | 蜂鸣器状态 | 显示屏是否报警 | 是否人工复位 | 动作方式 | 互锁实现回路 |
| 1 | 紧急停止 | 机台正视操作 面板中间 | 断开所有电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 2 | 烟雾侦测器 | 电控箱上端、 机箱内上端 | 断开所有电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 3 | 机箱排气侦测器 | 机台顶端一般排气口 | 断开等离子炬 控制开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 4 | 漏液侦测器 | 设备水箱前端、顶端 | 断开自来水、冷却水、循环水和等离子炬控制开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 5 | 水槽高液位传感器 | 设备 水箱前端、 顶端 | 断开自来水、冷却水、等离子炬控制开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 6 | 过温、过热安全 保护装置 | 主腔体外壁、涡旋冷却腔体外壁 | 断开等离子炬 控制开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
1.整体耐腐，抗震防护装置，排水防灌装置
2. AUTO/MANUAL/EC三种运行模式
3. 实时监控、完善的安全报警系统
4.有效的安全连锁设计，特有的水位安全机械装置
5.大容量设计，PM周期厂，缩减PM工作量
6.排气端装有 CHILLER 系统，水气分离效果更佳
7.设有循环水系统，减少淡水消耗达到节能减排要求
