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PW-GS600等离子水洗式尾气处理设备
等离子水洗式尾气处理设备
制程气体通过进气口进入主腔体混合， 等离子炬装置位于主腔体中间位置，通过等离子体发生装置形成高温、射流状的等离子电弧（Flame over 火焰边缘温度高达3000℃）对进入的制程废气在反应室内进行电离、轰击、高温分解，使其废气分子转化成各种活性粒子，反应生成H2O、CO2等无害物质，再由水洗系统对其进行冲刷、喷淋、降温、水溶水解等处理，溶于水的物质作为废水排出，处理达标的气体定向排放至厂务中央系统。
| 目录 | 明细 |
| 腔体接口 | 6 Ports |
| 处理容量 | 600LPM |
| 处理效率 | >99% |
| 设备尺寸 (W×D×H ) | 1100X1000X1960（mm) |
| 操作方式 | Automatic (PLC) |
主要特点 | 火焰边缘温度高达3000℃ |
其他特点 | 低电能，高性能 优良的PFCs气体处理 E.P系统实现99%以上的处理效率 防腐涂层技术 |
| PW-GS600 配置需求 | ||||||||
| 设备各连接口配置 | 厂务二次配要求 | |||||||
| 项次 | 名称 | 材质 | 尺寸规格 | 数量 | 接口方式 | 需求 | 材质 | 备注 |
| 1 | 酸排接口 | SUS | IS0-100 | 1 | C型夹连接 | -80 ～ -120mmH2O 600LPM | 耐腐 | 1.连接处上方需配有压力表、调节手阀 2.厂务酸排管需做分段（2m/段）连接，方便后期维护 |
| 2 | 一般排气接口 | SUS | φ102 | 1 | 抱箍固定 | -10 ～ -20mmH2O 500LPM | SUS | 连接处上方需加装手阀 |
| 3 | 废气进气接口 | SUS | KF-40 | 6 | KF-40 clamp连接 | -80 ～ -120mmH2O | SUS | |
| 4 | 氮气接入口 | SUS | 3/8”SWAGELOK | 1 | 3/8”SWAGELOK 卡套 | 2-4 kgf/cm² 50-60LPM | SUS | 需加装调压阀 |
| 5 | 冷却水回水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK 卡套 | 40-70LPM 3-6 kgf/cm² | SUS | 必须配有流量计、压力计 |
| 6 | 冷却水进水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK 卡套 | 40-70LPM 3-6 kgf/cm² | SUS | 水质干净，7-10℃ |
| 7 | 自来水进水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK 卡套 | 5-8LPM 3-8 kgf/cm² | SUS | 浑浊度：不超过5度 PH值：6.5-8.5 |
| 8 | 排水接口 | PVC | 3/4" ANSI | 1 | 3/4"由令 | 40LPM Acid Drain | PVC | 需加装手阀、逆止阀 |
| 9 | 远程接口（预留） | SUS+PVC | RS232 公头 | 1 | RS232插头连接 | RS232 母头 | 信号线 | 如有需求，连线由高笙提供。 |
| 10 | CDA接入口 | SUS | 3/8" SWAGELOK | 1 | 3/8”SWAGELOK 卡套 | 60-80LPM 5-8 kgf/cm² | SUS | 需加装调压阀 |
| 11 | 电源接口 | Cu | 25mm²*4C | 1 | 端子螺丝固定 | 25mm²*4C 50/60HZ AC 208V 100A 3phase 3wire+PE 最大运行电流：60A | 铜芯软线 | 厂务至设备之间的电源线不得有接头 |
| 联锁功能表 | |||||||||
| 编号 | 安全组件名 | 所在位置 | 断开部件和功能 | 信号灯状态 | 蜂鸣器状态 | 显示屏是否报警 | 是否人工复位 | 动作方式 | 互锁实现回路 |
| 1 | 紧急停止 | 机台正视操作面板中间 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 2 | 烟雾侦测器 | 电控箱上端、 机箱内上端 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 3 | 机箱排气侦测器 | 机台顶端一般排气口 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 4 | 排气浓度侦测器 | 设备电控箱 | 启动内部BY-PASS | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
1.低功率，高性能、优良的PFCs气体处理
2. 等离子系统实现99%以上的处理效率，设备运行长寿命
3. 防腐涂层技术，操作简便，自动运行
4.节能模式，等离子火炬与废气实现同步运行
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