吸附式尾气处理设备
制程废气通过进气连接口、集气桶、内部连接管进入常温吸附桶、热吸附桶,与桶内吸附剂产生反应,反应过程中这些气体经吸附剂或氧化,无害气体则被抽到排气系统 。废气被固态媒介吸附、捕捉并反应后形成固态片状物,而这些固态媒介处于介质床之中,失效后需及时更换吸附桶,对使用后的吸附剂废弃物要进行妥善处理。
| 目录 | 明细 |
| 腔体接口 | 4 Ports |
| 处理容量 | 160LPM |
| 设备尺寸 (W×D×H ) | 1190X1000X1640(mm) |
| 操作方式 | Automatic (PLC |
电源供应 | 2.5mm²*4C50/60HZAC 208V 10A3phase 3wire+PE |
其他特点 | 实时监控、完善的安全报警系统 |
| D-GS16 配置需求 | ||||||||
| 设备各连接口配置 | 厂务二次配要求 | |||||||
| 项次 | 名称 | 材质 | 尺寸规格 | 数量 | 接口方式 | 需求 | 材质 | 备注 |
| 1 | 酸排接口 | SUS | IS0-100 | 1 | C型夹连接 | -60 ~ -120mmH2O | 耐腐 | 1.连接处上方需配有压力表、调节手阀。 2.厂务酸排管需做分段(2m/段)连接,方便后期维护。 |
| 2 | 一般排气接口 | SUS | φ102 | 1 | 抱箍固定 | -30 ~ -40mmH2O | SUS | 连接处上方需加装手阀 |
| 3 | 废气进气接口 | SUS | KF-50 | 4 | KF-50 clamp连接 | -60 ~ -120mmH2O | SUS | |
| 4 | 氮气接入口 | SUS | 3/8”SWAGELOK | 1 | 3/8” SWAGELOK 卡套 | 4-6 kgf/cm² | SUS | 需加装调压阀 |
| 5 | 电源接口 | Cu | 2.5mm²*4C | 1 | 端子螺丝固定 | 2.5mm²*4C 50/60HZ AC 208V 10A 3phase 3wire+PE | 铜芯软线 | 厂务至设备之间的电源线不得有接头 |

| 联锁功能表 | |||||||||
| 编号 | 安全组件名 | 所在位置 | 断开部件和功能 | 信号灯状态 | 蜂鸣器状态 | 显示屏是否报警 | 是否人工复位 | 动作方式 | 互锁实现回路 |
| 1 | 紧急停止 | 机台正视操作面板中间 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 2 | 烟雾侦测器 | 电控箱上端、 机箱内上端 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 3 | 机箱排气侦测器 | 机台顶端一般排气口 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 4 | 排气浓度侦测器 | 设备电控箱 | 启动内部BY-PASS | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |