产品中心

半导体高端制造源于专业的设计与优秀的品质

W-GS5水洗式尾气处理设备

水洗式尾气处理设备

工作原理

气体经过两级处理,一级气体虹吸涡旋冲洗区和二级旋转冲洗区起到去除粉尘、去除固体颗粒副产品、防堵塞的作用。 可溶气体颗粒与高效洗涤液体在二级旋转冲洗区和主反应区进行反应,细颗粒去除和高效液体洗涤是通过五级后段自来 水冲洗区的过滤装置实现的。排气湿度控制系统通过向排气流中注入恒定流量的清洁干燥氮气,进一步降低了排气管道中 水凝结的可能性。经过处理后的气体排放到通风系统,经过厂务废气综合废气处理达到国家气体排放标准。 为了减少淡水消耗,GS5的冷却/水淋区采用的是循环水。底部水槽将循环水收集在其中,固体留在水槽底部。液位开关 自动控制水泵,利用PH值控制内循环周期达到节能减排。

产品简介
目录
明细
腔体接口NW50*4 Port
处理容量

600LPM

操作方式

Automatic (PLC)

设备尺寸 (W×D×H )

695X920X1810(mm)

电源供应

2.5mm²*4C  50/60HZAC   208V 10A 3phase 3wire+PE

其他特点

三种运行模式、节能设计、循环/排水双泵设计、

擎天柱自转喷淋设计、PM周期长

配置需求

W-GS5  配置需求
设备各连接口配置

厂务二次配要求

项次

名称

材质

尺寸规格

数量

接口方式

需求材质

备注

1酸排接口

PVC

IS0-1001

C型夹固定

-­50 ~ -­100mmH2O

耐腐

1.连接处上方需配有压力表、调节手阀。

2.厂务酸排管需做分段(2m/段)连接,方便后期维护。


2

一般排气接口

PVC

φ102

1

抱箍固定

-­20 ~ ­-30mmH2O

SUS

连接处上方需加装手阀

3

废气进气接口

SUS

KF-50

4

KF-50 clamp

-­50 ~ -­100mmH2O

SUS

4

自来水接口

SUS

3/8”SWAGELOK13/8” SWAGELOK 卡套4-7LPM 2-3kgf/cm²

SUS

浑浊度:不超过5度   PH值:6.5-8.5

5

氮气接入口

SUS

3/8”SWAGELOK

1

3/8” SWAGELOK 卡套

4-6kgf/cm² 30-60LPM

SUS

需加装调压阀


6电源接口

Cu

2.5m²*4C

1

端子螺丝固定

2.5mm²*4C 50/60HZ

AC 208V 10A

3phase 3wire+PE

铜芯软线


厂务至设备之间的电源线不得有接头

7排水接口

PVC

3/4" ANSI1

3/4"由令

40LPM   Acid Drain

PVC


需加装手阀、逆止阀


配置.png


安全联锁位置及功能
联锁功能表
联锁功能表
编号

安全组件名

所在位置

断开部件和功能信号灯状态蜂鸣器状态显示屏是否报警是否人工复位动作方式互锁实现回路
1紧急停止机台正视操作面板中间

断开主电源

红灯

报警

人工复位硬件安全继电器
2烟雾侦测器

电控箱上端

断开主电源

红灯

报警

人工复位硬件安全继电器
3

漏液侦测

水泵区

断开控制电源

红灯

报警

人工复位硬件安全继电器
4

液位过高侦测器

水槽

断开控制电源

红灯

报警

人工复位硬件安全继电器
产品特点

1. 擎天柱自转喷淋装置


由高压磁力循环泵通过PVC管输送内循环水至自转式喷水头,利用水压推动原理将喷水摇杆器自动旋转喷洒,大面积 接触腔体内气体,高效处理气体,腔体内的过滤子有效拦截 POWDER 及反应物。


2. 红外感应式水位传感器


由原机械式浮球水位传感器升级成红外传感器侦测水位,利用红外线的物理性质来进行测量的传感器,有灵敏度高等 优点;水位红外线传感器可以控制排水装置的运行。


3. 节水模式


安装PH SENSOR,根据PH值控制进、排水,减少废水排放量。

  • 电话

    021-58072672
    021-68072312

  • 邮箱

    sales@gaoshengic.cn

  • 地址

    OFFICE:上海市浦东新区康桥路957号B幢2-5楼
    R&D研发制造中心:中国(上海)自由贸易试验区临港新片区奔腾路413号10幢

关注我们

Copyright©2024高昇创芯(上海)半导体设备有限公司 苏ICP备16080861号 技术支持:奕云企服