咨询热线：
021-58072672021-68072312
产品中心
半导体高端制造源于专业的设计与优秀的品质
W-GS5000水洗式尾气处理设备
水洗式尾气处理设备
气体经过两级处理，一级气体虹吸涡旋冲洗区和二级旋转冲洗区起到去除粉尘、去除固体颗粒副产品、防堵塞的作用。可溶气体颗粒与高效洗涤液体在二级旋转冲洗区和主反应区进行反应，细颗粒去除和高效液体洗涤是通过五级后段自来水冲洗区的过滤装置实现的。排气湿度控制系统通过向排气流中注入恒定流量的清洁干燥氮气，进一步降低排气管道中水凝结的可能性。经过处理的气体排放到通风系统，经过厂务废气综合废气处理达到国家气体排放标准。
| 目录 | 明细 |
| 处理容量 | 5000LPM |
| 腔体接口 | 12 Ports |
| 操作方式 | Automatic （PLC） |
| 设备尺寸 (W×D×H ) | 3203X1250X2494（mm) |
| BW-GS2000D 配置需求 | ||||||||
| 设备各连接口配置 | 厂务二次配要求 | |||||||
| 项次 | 名称 | 材质 | 尺寸规格 | 数量 | 接口方式 | 需求 | 材质 | 备注 |
| 1 | 酸排接口 | SUS | DN300 | 1 | 螺栓固定（8孔） | -80 ～ -120mmH2O （-800 ~ 1200pa） | 耐腐 | 1.连接处上方需配有压力表、调节手阀 2.厂务酸排管需做分段（2m/段）连接，方便后期维护 |
| 2 | 一般排气接口 | SUS | φ102 | 1 | 抱箍固定 | -20 ～ -30mmH2O （-200 ~ 300pa） | SUS | 连接处上方需加装手阀 |
| 3 | 废气进气接口 | SUS | DN150 | 12 | 螺栓固定（8孔） | -80 ～ -120mmH2O （-800 ~ 1200pa） | SUS | |
| 4 | BY-pass接口 | SUS | DN300 | 1 | 螺栓固定（8孔） | -80 ～ -120mmH2O （-800 ~ 1200pa） | SUS | 1.连接处上方需配有压力表、调节手阀 2.厂务酸排管需做分段（2m/段）连接，方便后期维护 |
| 5 | 碱液接入口 | 特氟龙 | 3/8" 外丝 | 1 | 3/8" 特氟龙卡套 | 1-2 kgf/cm² 3-5LPM | 耐酸碱 | 需加装手阀 |
| 6 | 酸液接入口 | 特氟龙 | 3/8" 外丝 | 1 | 3/8" 特氟龙卡套 | 1-2 kgf/cm² 3-5LPM | 耐酸碱 | 需加装手阀 |
| 7 | 自来水进水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK 卡套 | 5-8LPM 3-8kgf/cm² | SUS | 浑浊度：不超过5度 PH值：6.5-8.5 |
| 8 | A系统排水接口 | PVC | 3/4" ANSI | 1 | 3/4"由令 | 40LPM Acid Drain | PVC | 需加装手阀、逆止阀 |
| 9 | B系统排水接口 | PVC | 3/4" ANSI | 1 | 3/4"由令 | 40LPM Acid Drain | PVC | 需加装手阀、逆止阀 |
| 10 | 远程接口（预留） | SUS+PVC | RS232 公头 | 1 | RS232插头连接 | RS232 母头 | 信号线 | 如有需求，连线由高笙提供。 |
| 11 | CDA接入口 | SUS | 3/8" SWAGELOK | 1 | 3/8”SWAGELOK 卡套 | 4-6 kgf/cm² 80-100LPM | SUS | 需加装调压阀 |
| 12 | 电源接口 | Cu | 10mm²*4C | 1 | 端子螺丝固定 | 25mm²*4C AC 208V 32A 50/60HZ 3phase 3wire+PE 最大运行电流：17A | 铜芯软线 | 厂务至设备之间的电源线不得有接头 |
| 联锁功能表 | |||||||||
| 编号 | 安全组件名 | 所在位置 | 断开部件和功能 | 信号灯状态 | 蜂鸣器状态 | 显示屏是否报警 | 是否人工复位 | 动作方式 | 互锁实现回路 |
| 1 | 紧急停止 EMO | 机台正视操作 面板中间 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 2 | 烟雾侦测器 | 电控箱上端 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 3 | 液位过高侦测器 | A系统水箱上端*1 B系统水箱上端*1 | 断开A或B系统进水 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 4 | 漏液侦测器 | A系统水箱左端*1 B系统水箱右端*1 | 断开A或B系统电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
1.处理容量高达5000m3/h
2. 12个进气口，节约成品
3. A、B两个独立水洗系统，处理效果更佳
4.4m2占地面积小
5.内部自动BY PASS
6.PLC控制监控报警
7.产品所使用材料均经过专业检测，耐腐蚀性强
- 上一篇：TD-GS14吸附式尾气处理设备
- 下一篇：W-GS5水洗式尾气处理设备
