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TW-GS6D电加热水洗式尾气处理设备
电加热水洗式尾气处理设备
工艺所产生的制程废气（DCS、N2O、SiH4、NH3、TEOS、SiF4、CH4、TEB、TEPO等），经由真空连接管路进入反应腔体，在此进行高温分解反应处理，分解反应成粉末或是溶解于水的物质，由水洗系统对其进行冲刷、喷淋、降温、水溶水解等处理，溶于水的物质作为废水排出，再由水气分离器进行水气分离，防止湿度超标，最后，处理达标的气体定向排放至厂务中央系统。
| 目录 | 明细 |
| 腔体接口 | 6 Ports *2 |
| 处理容量 | 600LPM *2 |
| 操作方式 | Automatic (PLC) |
| 设备尺寸 (W×D×H ) | 1970X950X2148（mm) |
电源供应 | 16mm²*4C AC 208V 50A 50/60HZ |
其他特点 | 双腔自动运行，出色的整体防腐设计 手动/自动两种运行模式，独立双系统， 减少占地空间40%，维护方便，运行成本低 |
| TW-GS6D 配置需求 | ||||||||
| 设备各连接口配置 | 厂务二次配要求 | |||||||
| 项次 | 名称 | 材质 | 尺寸规格 | 数量 | 接口方式 | 需求 | 材质 | 备注 |
| 左右1 | 酸排接口 | SUS | IS0-125 | 2 | C型夹连接 | -80 ～ -120mmH2O | 耐腐 | 1.连接处上方需配有压力表、调节手阀 2.厂务酸排管需做分段（2m/段）连接，方便后期维护 3.固定C型夹不得少于6个，酸排管必须耐腐 |
| 左右2 | 一般排气接口 | SUS | φ102 | 2 | 抱箍固定 | -20 ～ -30mmH2O | SUS | 连接处上方需加装手阀 |
| 左右3 | 冷却水进水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 2 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm² | SUS | 需加装过滤装置，防止水质差造成设备内部管路堵塞 |
| 左右4 | 冷却水回水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 2 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm² | SUS | 必须配有流量计、压力计 |
| 左右5 | 排水接口 | PVC | 3/4" ANSI | 1 | 3/4"内丝由令 | Acid Drain | PVC | 需加装手阀、逆止阀 |
| 左右6 | 电源接口 | Cu | 16mm²*4C | 1 | 端子螺丝固定 | 16mm²*4C AC 208V 50A 3phase 3wire+PE 50/60HZ | 铜芯软线 | 厂务至设备之间的电源线不得有接头，接头处，易损风险极大，损坏后会造成不必要的case |
| 左右7 | 自来水进水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 2 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 3-8 kgf/cm² 5-10LPM | SUS | 需加装过滤装置，防止水质差造成设备 内部自来水管路、喷头堵塞 |
| 左右8 | CDA接入口 | SUS | 3/8” SWAGELOK | 2 | 3/8”SWAGELOK 卡套 | 5-8 kgf/cm² 80-100LPM | SUS | 需加装调压阀 |
| 左右9 | 远程接口（预留） | SUS+PVC | RS232 公头 | 2 | RS232插头连接 | RS232 母头 | 信号线 | 如有需求，连线由高笙提供 |
| 左右10 | 氮气接入口 | SUS | 3/8" SWAGELOK | 2 | 3/8" SWAGELOK卡套 | 4-5 kgf/cm² 30-60LPM | SUS | 需加装调压阀 |
| 左右11 | 废气进气接口 | SUS | KF-40 | 12 | KF-40 clamp连接 | -60 ～ -100mmH2O | SUS | |
| 联锁功能表 | |||||||||
| 编号 | 安全组件名 | 所在位置 | 断开部件和功能 | 信号灯状态 | 蜂鸣器状态 | 显示屏是否报警 | 是否人工复位 | 动作方式 | 互锁实现回路 |
| 1 | 紧急停止 | 机台正视操作面板 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 2 | 烟雾侦测器 | 电控箱上端、 机箱内上端 | 断开主电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 3 | 漏液侦测器 | 设备水箱前端、顶端 | 断开自来水、冷却 水、循环水和排水 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 4 | 机箱排气侦测器 | 机台顶端一般排气 | 断开加热器控制开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 5 | 过温、过热安全 保护装置 | 主腔体外壁、涡旋腔体外壁、冷却腔体外壁 | 断开加热器控制开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
1.安全
a.PARTS防腐设计，使用寿命更长。
b.EMO、烟感、漏液侦测、过温、过热、水位侦测、压力侦测等安全连锁设计。
c.循环水入水口过滤装置，更能有效的防止水槽杂质进入循环泵，使其卡死、损耗以及大量杂质堆积在循环水管路内。
d.排水管路设有气动阀、逆止阀，双层防护，有效的防止水倒灌。
e.电控箱-安全回路设计，用电更安全。
f.后段水气分离装置，有效防止水汽进入厂务酸排管。
2. 高效
a.HEATER均匀分布，高温分解、反应更彻底。
b.涡旋水洗、降温设计，水洗、冲刷更佳。
c.后段双重水洗系统，处理更高效。
d.循环/排水双泵设计，使其每个系统供应更充分，损耗更低。
e.反应腔加大设计，POWDER不易堵塞，从而延长PM周期。
3. 方便
a.触控屏操作设计，操作更清晰、便捷。
b.特有结构设计，拆装更便捷。
