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YZ-I320SE低温泵
真空低温泵
工作原理
优尊真空 YZ-I320SE 低温泵，专为解决当今离子注入工艺中的挑战而开发，YZ-I320SE 保持您所获得的所有质量、性能和可靠性优势，同时提供了增强的氢泵泵送速度和容量。
产品简介
| YZ-I320SE 性能参数表 | ||
抽气速率（L/S） | Water | 11000 |
| Air | 3600 | |
| H2 | 12500(30L) | |
| 13000(40L) | ||
| Ar | 3000 | |
| 气体容量（Pa-L） | H2 | 30/40 |
| Crossover(Torr-L) | 300 | |
再生时间（min） （包含20分钟延长清洗时间） | 完整（第一和第二阶段） | 150 |
| 快速恢复（仅限第二阶段） | 75 | |
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