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YZ-8S低温泵
真空低温泵
工作原理
当今的溅射镀膜工艺要求工艺工具的高可用性，而全新的增强型国产 YZ-8S 低温泵大幅度提高了工艺的可用性。有效减少泵再生频率，以确保在氙气与氮气等工艺制程中提供更好的真空恢复，每月可以减少 40%-60% 的再生次数有效提高了品园产品产量。
产品简介
| YZ-8S 性能参数表 | ||
抽气速率（L/S） | N2 | 1200 |
| H2 | 2200 | |
| Air | 1500 | |
| H2O | 4000 | |
| 极限真空度（Pa） | 10-7 | |
| 最大通导（Pa L/S） | Air | 1.2*103 |
| 抽气容量（Pa-L） | Air | 1.2*108 |
| H2 | 1.0*105 | |
| 降温时间（min） | 120 | |
| 泵口法兰 | CF | |
| 重量（KG） | 35 | |
产品特点
卓越性能
❶ 国产新品：保证技术参数、指标、功能同等的情况下 ，价格是 同类进口设备的70-80%。
❶ 安全定制：壳体密闭空间 ，外环境对其零影响 ，壳体可以根据客户要求， 定制方位 ，便于客户空间设计。
❶ 再生能力强：低温泵运动部件少且低速运行，再生时间短，正常寿命可达6-8w小时。
❶ 超洁净：冷泵利用低温板来冷凝、吸附气体而获得和保持真空，在真空区域没有油污、碳体。
❶ 高极限真空：最高可以达到10-8Pa以上的高真空。
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