全自动插板阀(AGV)
Auto Gate Valve通过添加PUMP Interface BD信号,实现PUMP和Main Controller 的通信, 当PUMP异常停机时,Main controller收到信号后,立即自动关闭阀门,预防气体回灌,并保持管路压力。
自动闸阀(AGV)由阀体和控制器(主控制器,远程控制器和加热控制器)两个部分组成,可通过4-6Kgf/cm^2氮气(或者压缩空气)控制阀门的快速打开与关闭。
❶ 主控制器(接收来自干泵故障信号)
❶ 远程控制器(与主控制器连接)
❶ 主控制器和远程控制器都可以控制阀体
❶ 加热控制器只控制阀体加热不参与闸阀的控制

| 型号 | A(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | E(MM) |
| AGV-GS100T | 130 | 162 | 430 | 246 | 162 |
| AGV-GS125T | 155 | 162 | 430 | 246 | 162 |
| AGV-GS160T | 180 | 162 | 524 | 279 | 195 |
| AGV-GS200T | 240 | 162 | 655 | 398 | 219 |
| AGV-GS250T | 290 | 162 | 850 | 563 | 248 |
| 阀体介绍 | |||||
| 闸板材质 | 主题材料 | 泄漏率 | 氮气 | 密封材质 | 关断时间 |
| SUS304 | AL6061 | ≤1*10E-9bar.l/s | 4-6bar | FKM | ≤0.3s |
| AGV & QSV 差异 | ||
| 分类 | AGV | QSV |
| 作用 | 全面性预防气体回灌,即时保护至主设备端 | 截止回流,减少污染和损坏 |
| 安装位置 | Pump inlet端 | 主设备Out端 |
| 关断方式 | 自动关闭 | 被动关闭 |
| 主体材料 | AL6061 | Al |
| 闸板材质 | SUS304 | SUS304 |
| 密封性 | 更高性能的FKM | FKM |
| 控制方式 | 主控制器和远程控制器都可以控制阀体 | PID控制 |
AGV设计特点:
❶ 当真空泵出现宕机时,自动闸阀(AGV) 能接收真空泵反馈的 alarm 信号自动关闭闸阀,关断时间≤0.3s,防止气体倒灌回机台chamber。
❶ 阀体具备加热功能,加热温度范围可人为控制在 0℃~180 ℃之间,通过内部嵌入式Heating防止Powder沉积,延长使用周期,并且加热实际温度可以在触控屏上显示出来。
❶ 设备控制方式:设备由PLC系统控制 ,分local control 和remote control 两种手动控制方式,两种控制方式互锁,不能同时操作;且控制器具有闸阀运行记录和报警信息查询功能。
❶ 状态显示:自动闸阀(AGV)阀体自带 open/close 状态识别指示灯,同时屏幕上可动态显示。