❶ 应用背景

SEMI、TFT、SOLAR、LED等行业内制程废气Powder量较多工艺的部门，如：CVD、PVD、ETCH、DIFF，常因PUMP不预期停机，导致气体回灌，腔体污染，从而导致不良品发生。同时还要对已污染腔体，进行清洁保养，严重影响生产计划，降低产能。

❶ 作用

Auto Gate Valve通过添加PUMP Interface BD信号，实现PUMP和Main Controller 的通信， 当PUMP异常停机时，Main controller收到信号后，立即自动关闭阀门，预防气体回灌，并保持管路压力。