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半导体高端制造源于专业的设计与优秀的品质
NRC3050干泵
真空干泵
工作原理
NRC系列干泵产品能够满足半导体、平板显示器和太阳能行业苛刻工艺的要求。此系列产品体积紧凑、占地面积小，能耗低、抽除粉尘能力强，拥有可靠的性能和较低的使用成本。
产品简介
| NRM602 性能参数表 | |
| 抽气速率（m3/h） | 3000 |
| 极限真空 | 5*10-3mbar |
| 3.7*10-3Torr | |
| 进气口（DN） | ISO160 |
| 排气口（DN） | NW40 |
| 氮气流量（slm） | 0-133 |
| 水流量（l/m） | 12.2 |
| 极限功率（kW） | 5.5 |
| 干泵功率（kW） | 7.5 |
| 增压泵功率（kW） | 4.5 |
| 重量（KG） | 820 |
| 噪音（dB） | 70 |
| 主题尺寸 长*宽*高（mm） | 996*518*973 |
