上海高笙

致力于成为您最可靠的半导体解决方案提供商


整机新品研发制造
上海高笙致力于研发制造出有效处理半导体制程中产生的各种有毒有害气体,
通过各种废气废物净化处理技术,实现绿色环保的生态理念。
  • 高笙新品氢气专用尾气处理设备优势
    • 处理氢气流量更大,单氢气可达360L,混合特气处理量达450L

    • 腔体全包加热器设计,受热均匀

    • 纯电热高温处理方式,温度可到达800度

    • 单进口模式,预留Bypass进气口

    • 无需自来水,少量废水排出,节约能源

    • 降低维护成本


  • 研发制造出适用氢气专属的尾气处理设备

    上海高笙自主研发的处理氢气专用Scrubber废气处理设备HT-GS3600,通过电能加热,促使制程设备排出的废气发生高温分解反应,再由冷却系统将反应生成的气态水降温冷凝成液态水, 再次降温,最后定向排入厂务中央系统,使工业废气经过处理后变成无污染、达到国家的排放标准。



  • 电话

    021-58072672
    021-68072312

  • 邮箱

    sales@gaoshengic.cn

  • 地址

    OFFICE:上海市浦东新区康桥路957号B幢2-5楼
    R&D研发制造中心:中国(上海)自由贸易试验区临港新片区奔腾路413号10幢

关注我们

Copyright©2024高昇创芯(上海)半导体设备有限公司 苏ICP备16080861号 技术支持:奕云企服